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ITO 타겟은 일반적으로 스퍼터링 공정 동안 안전하고 효율적인 사용을 보장하기 위해 백킹 플레이트에 결합된다. 결합 공정은 전형적으로 표적을 백킹 플레이트에 고정시키기 위해 금속 접착제 및 고온 경화의 사용을 포함한다. 이러한 결합은 스퍼터링 공정 동안 임의의 타겟 재료가 벗겨지는 것을 방지하고, 스퍼터링 타겟에 안정성을 제공하여, 생성된 박막의 품질을 개선시킨다.
ITO (인듐 주석 산화물) 타겟은 마그네트론 스퍼터링 및 열 증발을 포함하는 박막 증착 공정에 일반적으로 사용된다. 안전하고 효율적인 사용을 보장하기 위해 ITO 타겟은 백킹 플레이트에 결합해야합니다. 백킹 플레이트는 안정성을 제공하고 스퍼터링 공정 동안 타겟의 열 및 기계적 안정성을 향상시킨다.
ITO 타겟 결합의 작동 원리는 다단계 공정을 포함한다. 첫째, 표적은 표면 오염 물질을 제거하기 위해 청소됩니다. 그 후, 결합층은 일반적으로 금속 접착제의 사용을 통해 백킹 플레이트에 적용된다.
일단 접착제가 적용되면, 타겟은 백킹 플레이트의 상부에 조심스럽게 위치되고, 타겟이 백킹 플레이트에 단단히 접착되도록 보장하기 위해 타겟에 부드러운 힘이 가해진다. 이어서, 타겟 및 백킹 플레이트를 고온에서 가열하고 경화시켜 결합을 강화시킨다.
전반적으로, 본딩 프로세스는 타겟 재료가 기판 상에 효율적이고 정확하게 증착되는 것을 보장하여, 스퍼터링 공정 중에 발생할 수 있는 오염 및 박리의 위험을 제거한다.
ITO 타겟 결합은 스퍼터링을 사용하여 고품질의 박막을 제조하는 공정의 필수적인 부분이다. 스퍼터링은 고 에너지 입자로 표적 물질을 폭격하여 표적의 원자를 배출하고 기판 상에 증착하여 박막을 생성하는 진공 기반 공정입니다. ITO 타겟을 사용하는 투명 전도성 필름의 경우, 안정적이고 균일한 증착을 보장하기 위해 타겟과 백킹 플레이트 사이에 양호한 접착력을 갖는 것이 중요하다.
스퍼터링 공정 동안, ITO 타겟은, 특히 높은 열, 열 사이클링, 및 반복된 스퍼터링 사이클을 받는 경우, 시간이 지남에 따라 열화되거나 마모될 수 있다. 납땜, 확산 결합 또는 접착제와 같은 특정 방법을 통해 ITO 타겟을 배킹 플레이트에 결합시키는 것은 분해를 방지하고 타겟의 수명을 증가시킬 수 있다.
양호한 결합은 또한 일관된 스퍼터링을 보장하고 입자 생성을 최소화하며, 그렇지 않으면 증착된 필름에 결함을 야기할 수 있다. ITO 타겟에 대한 우수한 결합 방법은 스퍼터링 동안 열 전달 및 열 안정성을 최적화하여 우수한 광학 선명도 및 전기 전도도를 갖는 품질의 박막을 생성합니다.
요약하면, ITO 타겟을 배킹 플레이트에 결합하는 것은 스퍼터링 공정에서 중요한 단계이며, 다양한 응용을 위한 ITO 박막의 우수한 성능, 안정성 및 신뢰성을 보장한다.
ITO 타겟을 백킹 플레이트에 결합시키기 위해 다양한 재료 및 기술이 사용될 수 있다. 재료 및 기술의 선택은 타겟의 크기 및 형상, 기판의 재료, 증착 요건 및 요구되는 결합 강도와 같은 인자에 의존한다. ITO 타겟 결합에 일반적으로 사용되는 재료 선택은 다음과 같습니다.
브레이징: 브레이징은 낮은 융점을 갖는 필러 재료를 사용하여 ITO 타겟을 백킹 플레이트에 결합시키는 공정이다. 일반적으로 사용되는 필러 재료는 실버 합금, 구리, 아연 및 알루미늄을 포함한다.
확산 결합: 확산 결합은 ITO 표적 결합에 사용되며, 추가 재료없이 고온 및 압력을 사용하여 타겟과 백킹 플레이트 사이에 분자 결합을 생성합니다.
접착제: 접착제는 일반적으로 표면을 처리하기 위해 우수한 결합 강도를 위해 에폭시 및 시아노아크릴레이트 접착제와 같은 재료를 사용하여 ITO 표적을 백킹 플레이트에 결합시키는 데 사용됩니다.
클램핑: 클램핑은 주로 더 작은 ITO 표적에 대한 비 영구적 인 결합 방법입니다. 그것은 타겟과 백킹 플레이트 사이에 적절한 압력을 제공하는 데 도움이되며 가열이 필요하지 않은 곳에서 사용할 수 있습니다.
ITO 타겟의 성공적인 결합의 핵심은 스퍼터링 프로세스 전반에 걸쳐 충분한 결합 강도, 안정성 및 균일성을 제공하는 방법 및 재료를 선택하는 것이다. 결합 재료의 선택은 접착 강도에 미치는 영향을 최소화하면서 스퍼터링 동안 열 순환 및 열 발산을 견딜 수 있어야 한다.
