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몰리브덴 타겟에 대한 요구 사항은 기존 재료 산업의 요구 사항보다 훨씬 더 엄격합니다. 이러한 요건은 크기, 평탄도, 순도, 불순물의 함량, 밀도, N/O/C/S 수준, 입자 크기 및 결함 제어를 포함하는 양태를 수반한다. 더욱 엄격하거나 전문화 된 요구 사항에는 표면 거칠기, 저항 값, 입자 크기의 균일 성, 조성 및 미세 구조, 이물질 (산화물) 함량 및 크기, 자기 투과성, 초고 밀도, 초미세 곡물.
마그네트론 스퍼터링 코팅은 전자총 시스템을 사용하여 도금 된 재료에 전자를 집중시키고 방출하는 새로 개발 된 물리적 기상 증착 기술입니다. 운동량 교환 원리에 따라, 원자는 높은 운동 에너지로 타겟 표면 밖으로 배출되고 기판 상에 정착되어 필름을 형성한다. 도금 공정에 사용되는 재료는 금속, 합금 및 세라믹 화합물과 같은 다른 재료로 만들 수있는 스퍼터링 타겟이라고합니다.
몰리브덴 타겟은 마그네트론 스퍼터링 공정을 통해 박막의 제조에 사용된다. 이 과정은 타겟 표면에서 원자를 배출하는 고 에너지 이온으로 금속 타겟을 폭격하는 것을 포함합니다. 이어서, 이들 방출된 원자는 기판 상에 증착되어 박막을 형성한다.
몰리브덴 타겟의 작동 원리는 타겟이 기판에 대향하는 챔버 내에 배치되는 진공 환경을 설정하는 것을 포함한다. 타겟은 전형적으로 몰리브덴으로 제조되는데, 이는 열적 및 화학적 안정성이 우수한 내화 금속이기 때문이다.
일단 진공이 확립되면, 아르곤과 같은 가스가 챔버로 도입되고 마그네트론 스퍼터링 소스에 의해 이온화된다. 이온화된 가스는 몰리브덴 타겟을 향해 가속되고, 이는 원자들이 표면으로부터 방출되게 한다. 그 후, 이들 방출된 원자는 기질 상에 날아가 증착되어 초박막을 형성한다.
박막의 두께 및 특성은 전력, 압력 및 가스 유량과 같은 공정 파라미터를 조정함으로써 제어될 수 있다. 몰리브덴 타겟은 반도체에서 태양 전지 및 의료 장치에 이르기까지 다양한 응용 분야에서 박막을 생산하는 데 사용할 수 있습니다.
다양성: 스퍼터링 타겟은 금속, 합금, 세라믹 및 반도체를 포함한 다양한 재료에 박막을 증착시킬 수 있습니다.
높은 순도: 스퍼터링 타겟은 높은 순도 수준과 낮은 불순물로 제조 될 수있어 전자 및 반도체 응용 분야에 이상적입니다.
정밀도: 스퍼터링 공정은 증착된 박막의 두께 및 특성에 대한 정확한 제어를 가능하게 한다.
효율성: 스퍼터링은 빠르고 효율적인 공정으로 대량 생산 응용 분야에 이상적입니다.
경제: 스퍼터링 목표는 수명이 길고 재활용 할 수있어 박막을 증착하는 경제적이고 지속 가능한 방법입니다.
순도: 99.95%
밀도: ≥ 10.2g/cm3
크기 범위: 필요에 따라 사용자 정의 가능
외관: 현미경 검사는 산화/수소화 변색, 긁힘, 변형, 버 등이없는 균일 한 금속 광택이있는 표면을 보여줍니다.
응용 프로그램: 진공 열처리로를위한 난방 부품 및 단열 부품을 만들고 화학 산업에서 소화기, 히터, 냉각기, 다양한기구 및 장치를 생산하는 데 사용됩니다. 또한 항공 우주 산업, 의료 기기 및 기타 분야에 광범위하게 적용됩니다. 스퍼터링 타겟은 새롭게 개발된 물리적 기상 증착 (PVD) 방법인 마그네트론 스퍼터링 코팅에 사용된다.
회전 타겟은 일종의 스퍼터링 타겟이다. 타겟은 느린 속도로 회전 코팅을 달성하기 위해 내부에 고정 자석이 장착 된 원통형 모양으로 만들어집니다.
우리는 필요에 따라 다음과 같은 크기의 몰리브덴 스퍼터링 목표를 제공 할 수 있습니다: 길이 ≤ 165mm X1000 mm, 순도 ≥ 99.95%.
응용 프로그램: 태양 전지, 건축 유리, 자동차 유리, 반도체, 평면 패널 TV 등
고순도 넓은 몰리브덴 타겟은 AMOLED 패널 생산의 핵심 원료 중 하나입니다. 당사의 제품에는 주로 G2.5-G6 세대 TFT-LCD/AMOLED에 사용되는 TFT-LCD/AMOLED에 적합한 초광대역, 고순도 및 고밀도 평면 몰리브덴 스퍼터링 타겟이 포함됩니다. 따라서 중국 시장에서 넓은 몰리브덴 목표 (1800mm) 의 간격을 채 웁니다.
스퍼터링 목표는 다음을 포함한 광범위한 응용 분야에서 활용됩니다.
반도체 산업: 스퍼터링 목표는 마이크로 전자 부품 및 집적 회로 생산에 중요한 역할을합니다.
태양 전지 산업: 스퍼터링 타겟은 기판에 박막을 증착하기 위해 태양 전지 생산에 사용됩니다.
디스플레이 산업: 스퍼터링 대상은 평면 디스플레이 및 터치 스크린 생산에 사용됩니다.
자동차 산업: 스퍼터링 목표는 가시성을 향상시키고 눈부심을 줄이기 위해 자동차 유리에 박막을 증착하는 데 사용됩니다.
코팅 산업: 스퍼터링 타겟은 다양한 기판에 경질, 장식 및 내마모성 코팅을 증착하는 데 사용됩니다.
의료 기기 산업: 스퍼터링 목표는 스텐트 및 심장 박동기와 같은 의료 기기 생산에 사용됩니다.
전반적으로 스퍼터링 타겟의 다양성은 수많은 산업 및 기술 응용 분야에서 필수 구성 요소를 만듭니다.
