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몰리브덴 타겟 결합은 몰리브덴 타겟을 배킹 플레이트에 부착하는 공정이다. 이 공정은 몰리브덴 타겟을 결합하기 위해 고온 브레이징 기술을 사용하는 것을 포함하며, 이는 스퍼터링 공정 동안 높은 열 및 기계적 응력을 견딜 수 있게 한다. 몰리브덴 타겟의 높은 진공 적합성 및 우수한 열 전도성은 이들을 물리적 기상 증착 (PVD) 및 마그네트론 스퍼터링과 같은 플라즈마 기반 증착 기술에 사용하기에 매우 적합하게 만든다. 표적 결합은 몰리브덴 타겟이 수명에 걸쳐 효율적이고 신뢰성 있게 수행되도록 하기 위한 중요한 단계이다.
몰리브덴 타겟 결합은 몰리브덴 타겟을 배킹 플레이트에 결합시키는 공정을 수반하여, 스퍼터링 적용에 요구되는 고온 및 고 응력 환경을 견딜 수 있는 강한 결합을 생성한다. 몰리브덴 타겟 결합의 작동 원리는 사용된 특정 결합 방법에 의존한다.
하나의 일반적인 결합 방법은 브레이징이며, 이는 필러 금속을 그 융점 위로 그러나 베이스 재료의 융점 아래로 가열하여 재료를 함께 유동시키고 결합시키는 것을 포함한다. 이것은 고온과 스트레스를 견딜 수있는 강하고 영구적 인 결합을 만듭니다.
또 다른 결합 방법은 열과 압력을 사용하여 재료를 결합하여 원자가 계면을 가로 질러 확산되고 강한 결합을 형성하는 고체 상태 용접 공정 인 확산 결합입니다.
폭발성 결합은 두 개의 금속 조각 사이에 고속 충돌을 일으켜 서로 결합시키는 결합 방법입니다. 이는 고온 및 응력을 견딜 수 있는 강한 결합을 제공한다.
사용되는 특정 접합 방법은 타겟의 크기 및 형상, 기판의 유형, 및 의도된 적용과 같은 인자에 의존한다. 전반적으로, 몰리브덴 타겟 결합의 작동 원리는 스퍼터링 응용에서 요구되는 가혹한 환경을 견디기 위해 타겟과 백킹 플레이트 사이에 강하고 영구적인 결합을 생성하는 것을 포함한다.
몰리브덴 타겟을 배킹 플레이트에 결합시키는 몇 가지 방법이 있으며, 각각 고유 한 장점과 한계가 있습니다. 선택된 방법은 타겟의 크기 및 형상, 기판의 유형, 및 의도된 적용과 같은 인자에 의존할 것이다. 다음은 몰리브덴 표적에 사용되는 몇 가지 결합 방법입니다.
브레이징-이 방법은 필러 금속을 융점 위로 가열하지만 기본 재료의 융점 아래로 가열하여 두 재료를 결합하여 재료를 함께 흐르고 결합 할 수 있도록합니다. 브레이징은 고온 및 응력을 견딜 수있는 강하고 영구적 인 결합을 생성하기 때문에 몰리브덴 타겟을 결합하기 위해 사용되는 일반적인 방법입니다.
확산 결합-이것은 열과 압력을 사용하여 재료를 결합하여 원자가 계면을 통해 확산되고 강한 결합을 형성하는 고체 상태 용접 공정입니다. 확산 결합은 오염물을 도입하거나 재료 특성을 손상시키지 않고 높은 결합 강도가 요구되는 경우에 바람직하다.
폭발성 결합-이 방법은 두 금속 조각 사이에 고속 충돌을 일으켜 서로 결합시킵니다. 폭발성 결합은 강한 결합을 제공하며 고온 및 응력을 견딜 수 있습니다.
열 압축 결합, 직접 결합 및 초음파 결합과 같은 다른 방법이 사용될 수 있다. 선택된 결합 방법은 적용의 특정 요건에 의존할 것이다.
