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몰리브덴 보트는 순수한 몰리브덴 또는 몰리브덴 합금으로 만들어진 작은 보트 모양의 용기로, 일반적으로 재료의 진공 증발과 같은 고온 응용 분야에 사용됩니다. 높은 융점, 우수한 내식성 및 고온에서의 강도로 인해 몰리브덴은 이러한 용도에 이상적인 재료입니다. 몰리브덴 보트는 다양한 산업 분야의 특정 고객 요구 사항을 충족하도록 설계된 다양한 크기, 모양 및 두께로 제공됩니다.
몰리브덴 보트의 작동 원리는 간단하고 간단합니다. 이들은 일반적으로 진공 증발 및 스퍼터링 공정에서 고온 적용에 사용되는 몰리브덴으로 만들어진 보트 모양의 용기입니다. 몰리브덴 보트는 재료가 증발 또는 스퍼터링되는 홀더 또는 공급원으로서 작용하며, 이는 고온으로 가열되어 보트의 표면으로부터 증발된다. 융점이 높기 때문에 몰리브덴 보트는 증발 공정에 필요한 고온을 견딜 수 있습니다. 증발된 물질은 기판 상에 응축되어 박막 또는 코팅을 형성한다. 몰리브덴 보트는 열 구배를 제한하고 재료의 균일 한 증발을 보장하도록 설계되었습니다. 몰리브덴 보트의 정확한 모양과 치수는 증발 공정의 균일성과 효율성에 중요한 역할을합니다.
1. 플랫 홈 몰리브덴 보트: 높은 습윤성 재료에 적합;
2. V-홈 몰리브덴 보트: 낮은 습윤성 재료에 적합;
3. 타원형 홈 몰리브덴 보트: 용융 재료에 적합;
4. 구형 홈 몰리브덴 보트: 금 및 실버 같은 값 비싼 재료에 적합합니다.
5. 좁은 홈 몰리브덴 보트: 이러한 디자인은 증발 재료가 필라멘트 클립에 달라 붙는 것을 방지 할 수 있습니다.
6. 알루미늄 도금 보트: 보트 바디 표면에 알루미나를 도금하면 증발 보트가 부식성이 강한 용융 재료에 저항하는 데 도움이됩니다.
몰리브덴 보트는 고온 환경에서 증발에 사용될 때 몇 가지 이점을 제공합니다.
몰리브덴은 약 2623 ℃의 매우 높은 융점을 가지므로, 용융 또는 분해없이 매우 높은 온도를 견딜 수 있다. 이로 인해 몰리브덴 보트는 진공 증발 및 스퍼터링에 사용하기에 이상적이며, 여기서 재료는 증발하기 위해 고온 조건이 필요합니다.
몰리브덴은 우수한 열 전도성을 가지므로 증발제의 균일 한 가열을 보장하여 균일 한 증발 및 더 나은 품질의 박막을 제공합니다.
몰리브덴은 열팽창이 낮아 보트가 열응력 하에서 변형되거나 균열이 발생하지 않도록합니다.
몰리브덴은 우수한 내식성과 순도를 자랑하므로 순도와 균일 성이 중요한 고순도 반도체 응용 분야에 사용하기에 이상적입니다.
전반적으로, 높은 융점, 우수한 열 전도성 및 높은 내식성을 포함하여 몰리브덴의 독특한 특성은 증발 및 스퍼터링에 사용하기에 이상적인 재료입니다. 특히 고온 및 부식성 환경에서.
