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몰리브덴 시드 척은 반도체 산업에서 사용되는 성분으로, 결정 성장 공정 동안 실리콘 웨이퍼 또는 시드 결정을 위한 홀더로서 기능한다. 씨앗 척은 고품질의 결함이없는 결정을 만드는 데 필수적입니다. 우수한 고온 강도와 우수한 열전도성으로 알려진 내화 금속 인 고순도 몰리브덴으로 제작 된이 구성 요소는 결정 성장과 관련된 고온 및 부식 환경을 견딜 수 있습니다.
몰리브덴 시드 척은 반도체 제조에서 결정 성장 공정에 필수적이다. 몰리브덴 시드 척의 작동 원리는 매우 간단합니다. 먼저, 실리콘 웨이퍼 또는 시드 크리스탈이 홀더로서 작용하는 시드 척의 표면에 부착된다. 시드 척은 웨이퍼가 결정 성장에 중요한 배향으로 정확하게 위치되도록 한다. 그 후, 시드 척은 고온 및 표면 장력을 받는 동안 결정 성장 공정 동안 웨이퍼를 제자리에 유지한다. 성장 과정에서 종자 결정은 핵 역할을하며 원자는 표면에 부착되어 더 큰 결정을 형성합니다. 시드 척의 정확한 형상은 결정의 균일 한 성장에 중요한 역할을하므로 최종 반도체 제품의 성능을 발휘합니다. 결정이 성장함에 따라, 시드 척은 웨이퍼의 배향 및 위치에 대한 정확한 제어를 유지해야 하고, 결함이 없는 고품질 결정의 생성을 보장한다.
몰리브덴 보트는 높은 융점, 열 전도성 및 낮은 열 팽창 계수로 인해 광범위한 재료를 증발시키는 데 사용할 수 있습니다. 금속, 반도체, 세라믹 재료 및 기타 비금속 재료는 모두 몰리브덴 보트로 증발 할 수 있습니다.
예를 들어, 금, 실버, 알루미늄, 구리 및 백금과 같은 금속은 일반적으로 박막 증착을 위해 몰리브덴 보트로 증발된다. 알루미나 및 지르코니아와 같은 세라믹 재료뿐만 아니라 실리콘, 게르마늄, 갈륨 비소 및 인듐 인화물을 포함한 많은 반도체 재료도 몰리브덴 보트로 증발 할 수 있습니다.
또한 몰리브덴 보트는 산화물, 황화물 및 질화물과 같은 비금속 재료의 증발에 이상적입니다. 예를 들어, 티타늄 산화물, 알루미늄 산화물, 철 산화물 및 아연 황화물과 같은 재료는 몰리브덴 보트로 증발될 수 있다.
전반적으로, 몰리브덴 보트의 다양성은 다양한 박막 증착 응용을 위한 광범위한 재료를 증발시키는데 유용하다.
